超高純度、高耐食性及び耐熱性に優れているSiCウェハーは、長時間のリサイクル使用が可能で、高温拡張用、Lp-CVD用等のダミーウェハーとしても最適です。

SiC wafer,excellent in ultra high-purity,high corrosion resistance and heat resistance can be repeatedly used as a recyclable wafer,It is the most useful for not only a "dummy wafer"for higt temperature diffusion and Lp-CVD process,but a monitoring wafer for various uses.